申请日: 20220124 公开日: 20250225 申请人: 快克智能装备股份有限公司
申请日: 20241114 公开日: 20250211 申请人: 清华大学
申请日: 20220124 公开日: 20241122 申请人: 快克智能装备股份有限公司
申请日: 20230314 公开日: 20240920 申请人: 清华大学
申请日: 20190902 公开日: 20240319 申请人: 清华大学
来源: 微系统与纳米工程;青年科学家特刊合作: 盛兴、刘长波、刘磊、尹斓、孙钱