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专利列表
- 有效
一种热丝架构及化学气相沉积设备
申请日: 20240605 公开日: 20260320 申请人: 南京大学
- 有效
一种热丝模组及化学气相沉积设备
申请日: 20240605 公开日: 20260320 申请人: 南京大学
- 有效
一种降低AlN外延层缺陷的外延生长方法
申请日: 20240416 公开日: 20260317 申请人: 南京大学
- 在审
一种具有低界面态密度的六边形micro-LED芯片及制备方法
申请日: 20251210 公开日: 20260310 申请人: 南京大学
- 有效
一种夹层沉积AlN薄膜的溅射生长方法
申请日: 20240416 公开日: 20251104 申请人: 南京大学
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