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专利列表
- 失效
等离子体增强沉积薄膜装置的基片台
申请日: 20070209 公开日: 20100908 申请人: 华南师范大学
- 失效
一种制备氮化镓薄膜装置中的气路系统
申请日: 20080617 公开日: 20100908 申请人: 华南师范大学
- 在审
在硅衬底上实现氮化镓薄膜低温沉积的方法
申请日: 20080617 公开日: 20090218 申请人: 华南师范大学
- 失效
增强有机金属化学气相沉积薄膜的装置及其沉积方法
申请日: 20030509 公开日: 20061220 申请人: 华南师范大学
- 失效
防晒用肤色氧化锌纳米粉的制备方法
申请日: 20040830 公开日: 20060628 申请人: 华南师范大学
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