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专利列表
- 失效
一种微纳弯曲结构的制备方法
申请日: 20171218 公开日: 20180629 申请人: 中国科学院物理研究所
- 有效
一种制备自封闭纳米通道的方法
申请日: 20130609 公开日: 20160413 申请人: 中国科学院物理研究所
- 有效
一种等离子体沉积及刻蚀系统
申请日: 20130424 公开日: 20151118 申请人: 中国科学院物理研究所
- 有效
光学曝光方法及其用于制备硅材料竖直中空结构的方法
申请日: 20111116 公开日: 20141126 申请人: 中国科学院物理研究所
- 失效
一种硅纳米锥复合石墨烯纳米片的材料及其制备方法
申请日: 20121119 公开日: 20130710 申请人: 中国科学院物理研究所
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