申请日: 20220607 公开日: 20250218 申请人: 山东大学
申请日: 20220610 公开日: 20240614 申请人: 山东大学
申请日: 20220214 公开日: 20240611 申请人: 山东大学
申请日: 20220715 公开日: 20240528 申请人: 山东大学
申请日: 20210423 公开日: 20220826 申请人: 山东大学
来源: VACUUM;Sensors and Materials;Journal of Vacuum Science & Technology A合作: 李书翰、王进、张清和、陆文琪、杜清府