申请日: 20221227 公开日: 20260224 申请人: 山东大学
申请日: 20230419 公开日: 20260102 申请人: 山东大学
申请日: 20250530 公开日: 20251010 申请人: 山东大学
申请日: 20241010 公开日: 20250822 申请人: 中国科学院国家空间科学中心
申请日: 20220607 公开日: 20250218 申请人: 山东大学
合作: 杜清府、李延辉、史全岐、王小利、王硕
来源: VACUUM;Sensors and Materials;Journal of Vacuum Science & Technology A合作: 李建泉、李书翰、王进、陆文琪、杜清府