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专利列表
- 有效
一种点衍射共光路干涉晶圆图案缺陷检测装置及方法
申请日: 20241217 公开日: 20260217 申请人: 西安交通大学
- 在审
一种磁流变抛光盘、集成励磁组件的磁流变抛光装置及其使用方法
申请日: 20251125 公开日: 20260123 申请人: 西安交通大学
- 有效
一种基于相移调控的超精密磨削刀具路径规划方法
申请日: 20240611 公开日: 20260113 申请人: 西安交通大学
- 在审
一种适配小磨头抛光工具的微结构抛光垫及其制备方法
申请日: 20251125 公开日: 20260109 申请人: 通用技术集团机床工程研究院有限公司
- 有效
一种数控加工用多刀头旋转夹具
申请日: 20231024 公开日: 20251111 申请人: 西安交通大学
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