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专利列表
- 有效
一种在石墨烯表面沉积高质量AlO薄膜的制备方法
申请日: 20210818 公开日: 20251031 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 有效
一种用于提高原子层沉积多层膜膜厚控制精度的方法
申请日: 20220218 公开日: 20250822 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 有效
一种有机半导体材料的阵列制备方法
申请日: 20200506 公开日: 20250404 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 有效
基于柔性衬底的有机半导体阵列转移方法
申请日: 20200608 公开日: 20250228 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 在审
一种制备二维膜层结构的方法以及二维膜层结构
申请日: 20230724 公开日: 20250124 申请人: 中国科学院微电子研究所
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