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申请日: 20210618 公开日: 20260217 申请人: 中国科学院半导体研究所
申请日: 20210617 公开日: 20260217 申请人: 中国科学院半导体研究所
申请日: 20251106 公开日: 20260213 申请人: 山西中科潞安紫外光电科技有限公司
申请日: 20260107 公开日: 20260206 申请人: 山西中科潞安紫外光电科技有限公司
申请日: 20240723 公开日: 20260127 申请人: 中国科学院半导体研究所