球冠形栅网参数测量方法及测量仪

一种球冠形栅网参数测量方法及测量仪，属光学 测量仪器，该测量方法可测量球冠形栅网的参数及网 间距离，采用光学物镜对双(多)栅网多次调焦，记录 每次成象清晰后的物镜位置数值，两个位置数值之差 即为该两个栅网之间的间距。本栅网参数测量仪由 精密机械系统、光学系统、步进电机及其驱动系统、光 栅定位测量系统、信号获取系统五部分组成。通过计 算机软件处理可以自动调焦并打印输出测得的栅网 参数值，本栅网参数测量仪测得的精度高，可以提高 行波管的性能。