一种薄膜体声波器件与片上无源器件集成方法和装置

本发明公开了薄膜体声波器件与片上无源器件集成方法和装置，该方法通过在第二窗口内形成填充层，使得金属pad层能够沉积在指定的第一、第三和第四窗口内，然后通过第一次腐蚀掉填充层，利用打开的第二窗口进行第二次腐蚀将无源介质层电极断开，从而在无源介质层上形成了无源介质层第二电极，并巧妙的通过第一窗口引出，本发明进行第一次腐蚀的时候，无源介质层被金属电极包裹而不会受到第一次腐蚀的影响，再进行第二次腐蚀的时候使用的腐蚀液对无源介质层也无影响，通过上述方法，制备FBAR器件通过腐蚀液形成空腔时不会影响无源介质层，并巧妙的运用填充层、第一窗口和第二窗口，将包裹的无源介质层电极打开形成了无源介质层第二电极。