声表面波氢气传感器的等离激元微纳薄膜的制备方法

本发明涉及声表面波氢气传感器技术领域，公开了一种声表面波氢气传感器的等离激元微纳薄膜的制备方法，在声表面波器件的传播路径上制备等离激元微纳薄膜，该等离激元微纳薄膜在特定波长光照下激发等离激元共振效应，产生热载流子，从而主动降低氢气在敏感膜表面的解离能垒，显著加速氢气的解离、吸附与扩散过程。与传统被动依赖氢气自发解离的氢气传感器相比，实现了响应速度和灵敏度的显著提升。等离激元微纳薄膜采用光刻、镀膜、剥离、退火等标准半导体工艺制备，与声表面波器件工艺兼容性好、一致性强，为大规模、批量化生产提供了可靠路径。