有效

一种用于晶圆贴膜的定位装置

李伟
苏州英尔捷半导体有限公司
李伟机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本实用新型提供一种用于晶圆贴膜的定位装置,包括一对定位机构,所述定位机构包括水平运动的夹持件,所述夹持件通过弹性机构活动连接有牵引座,所述牵引座通过导向结构活动连接有一对修正机构。本实用通过驱动机构驱使连接座水平直线运动,此时牵引座能够在弹性机构的驱使下同步运动,并通过导向结构驱使一对摆臂相互靠近,摆臂能够对位置偏移的晶圆从两侧进行挤压,直至晶圆恰好位于两个夹持件之间,然后摆臂停止运动,两个夹持件从两侧继续水平直线运动,直至抵触在晶圆的侧面,从而实现对晶圆的定位,以使得晶圆始终保持在准确的贴膜位置进行贴膜。

暂无引用专利