1.一种用于晶圆贴膜的定位装置,其特征在于,包括一对定位机构,所述定位机构包括水平运动的夹持件,所述夹持件通过弹性机构活动连接有牵引座(1),所述牵引座(1)通过导向结构活动连接有一对修正机构;所述夹持件包括连接座(2)和第一滚轮(3),所述第一滚轮(3)转动连接于连接座(2)的表面,所述连接座(2)与驱动机构相连接;所述修正机构包括安装座(4)、扭簧(5)、转轴(6)、摆臂(7)和第二滚轮(8),所述转轴(6)竖直固定连接于安装座(4)的底部,所述摆臂(7)的一端转动连接于转轴(6)的末端,所述扭簧(5)固定连接于摆臂(7)与安装座(4)之间并套设于转轴(6)的表面,所述第二滚轮(8)转动连接于摆臂(7)的另一端。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆贴膜的定位装置,其特征在于:所述弹性机构包括弹簧(9)和伸缩杆(10),所述弹簧(9)和伸缩杆(10)均固定连接于牵引座(1)与连接座(2)之间,所述弹簧(9)套设于伸缩杆(10)的表面。
3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆贴膜的定位装置,其特征在于:所述导向结构包括滑槽(11)和滑块(12),所述滑块(12)固定连接于牵引座(1)的表面,所述滑槽(11)沿摆臂(7)的延伸方向设置于摆臂(7)的表面,所述滑块(12)滑动连接于滑块(12)的内部。
4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆贴膜的定位装置,其特征在于:所述驱动机构包括螺纹杆(13)、套筒(14)和电机(15),所述套筒(14)固定安装于连接座(2)的表面,所述螺纹杆(13)的一端螺纹连接于套筒(14)的表面,所述螺纹杆(13)的另一端与电机(15)的输出端相连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆贴膜的定位装置,其特征在于:所述牵引座(1)的底部设置有缺口(16),所述牵引座(1)的下方设置有T型轨道(17),所述牵引座(1)通过缺口(16)滑动连接于T型轨道(17)的表面。
6.根据权利要求3所述的一种用于晶圆贴膜的定位装置,其特征在于:初始时所述摆臂(7)倾斜设置,且所述滑块(12)位于滑槽(11)的末端。