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一种检测微小摩擦磨损的方法

苗瑞、向小健、唐铭锴、聂锦辉、张强、李超
深圳清华大学研究院

摘要

本发明提供了一种检测微小摩擦磨损的方法,涉及材料表面性能检测技术领域;包括以下步骤:S1、提供样品;S2、在样品的测试区域进行摩擦加载,以形成摩擦磨损区;S3、对所述摩擦磨损区进行干法刻蚀处理,以显性化由摩擦加载引起的微小损伤;S4、采用表征手段检测经干法刻蚀处理后的所述摩擦磨损区,以确定摩擦磨损情况;本发明通过干法刻蚀的“放大”效应,将原本在常规检测手段下不可见的隐性、微小摩擦损伤转化为清晰可辨的形貌或结构特征,极大地提高了检测的灵敏度和分辨率,突破了现有技术的检测瓶颈。

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