一种出光增强型紫外LED及其制备方法

本发明公开了一种出光增强型紫外LED及其制备方法，属于半导体器件领域。本发明通过外延生长及工艺设计，在紫外LED的非出光面制备出功能层/空气型分布式布拉格反射器，能够显著增强非出光面对内部发光的反射，从而大幅降低紫外LED在背面的光学损失；其次，本发明在出光面采用Al组分渐变的p‑AlGaN极化诱导层能够有效降低紫外光在出光面的光损耗，进一步提升紫外LED的出光效率；通过以上设计结合环绕n型电极设计，能够进一步改善载流子拥堵效应，提升载流子注入效率；本发明能够显著降低紫外LED的光损耗，提升紫外LED的光提取效率与电光转换效率。本发明的紫外LED可作为UV波段紫外光源，用于构建高辐照强度且方向性可控的紫外照明与信息传输光子系统。