一种材料及器件中缺陷三维空间及时间分布的快速检测装置及方法

一种材料及器件中缺陷三维空间及时间分布的快速检测装置及方法，属于材料检测领域。包含核心功能模块具体包括：激光器模块、光束分束模块、频率转换模块、超连续光谱产生模块、光学延迟线模块、激光扫描共聚焦显微镜模块、光谱探测模块及数据处理单元。实现“空间三维与时间一维”的四维检测，建立缺陷与器件性能的定量构效关系，供材料的"空间快照"和"时间快照"的四维全面表征。结合共聚焦技术和超分辨技术，兼顾纳米级空间分辨率与飞秒级时间分辨率，大面积、多维度、高精度和快速检测需求。