基于离子凝胶与忆阻器的神经形态气体传感器及制备方法

本发明涉及微电子器件与智能传感技术领域，公开了一种基于离子凝胶与忆阻器的神经形态气体传感器及制备方法。传感器包括衬底、集成于衬底上的Mott忆阻器和离子凝胶电容型气体传感单元，Mott忆阻器和离子凝胶电容型气体传感单元通过片上异构集成与电气互连构成振荡回路。利用离子凝胶界面双电层电容对气体分子的吸附响应特性，调制Mott忆阻器的充放电周期，从而将气体浓度信息转换为输出脉冲信号的频率。实现了气体“感知‑编码”的一体化功能，具有室温工作、结构紧凑、功耗低、与CMOS工艺兼容的优点，为构建适用于类脑智能感知系统的高效气体传感前端提供了器件基础。