米级腔长匹配短相干光源、多表面干涉装置及方法

本发明公开了一种米级腔长匹配短相干光源、多表面干涉装置及方法。包括噪声调制弱反馈激光器、米级光匹配反馈器、干涉仪；在噪声电流调制的基础上，使用米级光匹配反馈器反馈光强形成外腔，抑制内腔相干旁瓣，通过较长外腔长度消除外腔旁瓣对干涉测量带来的影响。相较于噪声电流调制短相干光源与正交偏振光程匹配系统，本发明提及的噪声调制弱反馈短相干激光器与米级光匹配反馈器具有更高的旁瓣抑制比，避免了多表面干涉时条纹串扰的问题，提高了零光程差定位准确度，降低了多表面元件测量中干涉旁瓣引起的纹波误差，提升了测量精度，解决了球罩元件面形测量、大口径平板元件面形测量中腔长改变量大，光程匹配系统无法完全定位的问题。