1.一种套刻标记，其特征在于，包括：第一标记图案，包括第一拼接图案和第一面内图案，所述第一面内图案设置在所述第一拼接图案的一侧；第二标记图案，包括第二拼接图案和第二面内图案，所述第二面内图案设置在所述第二拼接图案的一侧；其中，所述第一标记图案与所述第二标记图案拼接时，所述第一拼接图案与所述第二拼接图案形成交叉区，且所述第一拼接图案与所述第二拼接图案在第一方向和第二方向上均具有重叠区域；所述第一面内图案位于第二拼接图案的夹角区域内，所述第二面内图案位于所述第一拼接图案的夹角区域内。
2.根据权利要求1所述的套刻标记，其特征在于，所述第一拼接图案包括沿第一方向延伸的第一图形和沿第二方向延伸的第二图形，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第一面内图案设置在所述第一图形和所述第二图形的反向延长夹角区域内；所述第二拼接图案包括沿第一方向延伸的第三图形和沿第二方向延伸的第四图形，所述第二面内图案设置在所述第三图形和所述第四图形的反向延长夹角区域内；所述第一标记图案与所述第二标记图案拼接时，所述第一图形和所述第三图形在所述第一方向上部分重叠，所述第二图形与所述第四图形在所述第二方向上部分重叠。
3.根据权利要求2所述的套刻标记，其特征在于，所述第一图形与所述第二图形垂直相交，所述第三图形与所述第四图形垂直相交。
4.根据权利要求2所述的套刻标记，其特征在于，所述第一图形与所述第二图形的延长线垂直相交，所述第三图形的延长线与所述第四图形垂直相交；或者，所述第一图形的延长线与所述第二图形垂直相交，所述第三图形与所述第四图形的延长线垂直相交。
5.根据权利要求2-4任一所述的套刻标记，其特征在于，所述第一面内图案包括第五图形、第六图形及至少一组第七图形，所述第五图形与所述第一图形平行设置，所述第六图形和所述第七图形与所述第二图形平行设置，且所述第六图形在所述第二方向的尺寸大于所述第七图形的尺寸，所述第七图形对称分布在所述第六图形的两侧；所述第二面内图案包括第八图形、第九图形及至少一组第十图形，所述第八图形与所述第三图形平行设置，所述第九图形和所述第十图形与所述第四图形平行设置，且所述第九图形在所述第二方向的尺寸大于所述第十图形的尺寸，所述第十图形对称分布在所述第九图形的两侧。
6.根据权利要求5所述的套刻标记，其特征在于，所述第一标记图案与所述第二标记图案拼接后，所述第一图形与所述第八图形之间具有第一间距，所述第二图形与最内侧所述第十图形之间具有第二间距；所述第三图形与所述第五图形之间具有第三间距，所述第四图形与最内侧所述第七图形之间具有第四间距。
7.根据权利要求1所述的套刻标记，其特征在于，所述第一面内图案在所述第一方向的边界与所述第一拼接图案的边界平行且具有第一间距，所述第一面内图案在所述第二方向的边界与所述第一拼接的边界平行且具有第二间距；所述第二面内图案在所述第一方向的边界与所述第二拼接图案的边界平行且具有第三间距，所述第二面内图案在所述第二方向的边界与所述第二拼接图案的边界之间平行且具有第四间距。
8.一种光罩组件，其特征在于，包括：第一光罩和第二光罩及权利要求1-7任一所述的套刻标记，所述第一光罩与所述第二光罩之间具有拼接区域，所述套刻标记设置在所述拼接区域的切割道内。
9.一种基于权利要求8所述的光罩组件的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：在集成电路工件上涂布光刻胶层；采用第一光罩曝光所述光刻胶层的第一部分；采用第二光罩曝光所述光刻胶层的第二部分，所述第一部分与所述第二部分之间存在拼接区域；将曝光后的光刻胶层显影获得所需图案，所述拼接区域的切割道上显示套刻标记的图案；采用量测工具量测套刻标记内的关键尺寸并根据所述关键尺寸计算在第一方向和第二方向的套刻精度。
10.根据权利要求9所述的检测方法，其特征在于，所述套刻精度计算过程包括：相对旋转角度θ=arcsin[(CD5-设计值)/CD9]，其中，CD5表示第二面内图案在第一方向的边界与第一拼接图案边界之间的最大距离，CD9表示所述第二面内图案在第一方向的边界长度尺寸；第一方向的套刻精度OVL1=[(CD1+CD2)/2-(CD3+CD4)/2]/2，其中，CD1表示所述第二面内图案在第二方向的边界与所述第一拼接图案的边界之间的最小间距，CD2表示所述第二面内图案在第二方向的边界与所述第一拼接图案的边界的最大间距；CD3表示所述第一面内图案在第二方向的边界与所述第二拼接图案的边界之间的最小间距，CD4表示所述第一面内图案在第二方向的边界与所述第二拼接图案的边界之间的最大间距；第二方向的套刻精度OVL2=[(CD5+CD6)/2-(CD7+CD8)/2]/2，其中，CD5表示所述第二面内图案在第一方向的边界与所述第一拼接图案的边界之间的最大间距，CD6表示所述第二面内图案在第一方向的边界与所述第一拼接图案的边界之间的最小间距；CD7表示所述第一面内图案在第一方向的边界与所述第二拼接图案的边界之间的最大间距，CD8表示所述第一面内图案在第一方向的边界与所述第二拼接图案的边界之间的最大间距。
