基于直波导增益芯片的633nm可调谐激光器及干涉仪

本发明公开一种基于直波导增益芯片的633nm可调谐激光器及干涉仪，包括633nm可调谐激光器、保偏光纤、PBS、准直物镜、弯曲透镜、第一反射镜、第二反射镜、第二准直物镜、参考镜透镜组、测试镜、CMOS相机、上位机。可调谐激光器采用出射端反射率0.005%的低损耗直波导增益芯片，在633nm波段实现稳定的荧光输出，减少模式跳变；可调谐激光器光路基于动态波前反馈方法装调，通过提高外腔耦合效率提升波长鲁棒性和无跳模范围；本发明公开的可调谐激光器应用于大口径立式球面干涉仪，通过将波长精确控制在633nm，有效抑制球面干涉仪的焦点曲率中心失配像差，提升大口径球面元件面形的测量精度。