基于高精度真空压力控制的量子电流组合测量装置及方法

本发明提供了一种基于高精度真空压力控制的量子电流组合测量装置及方法。该装置包括：真空腔室；真空泵与真空腔室相连通；真空压力控制组件与真空腔室相连通；高流强测量组件设置在真空强室内；低流强测量组件设置在真空腔室内。本发明通过真空压力控制组件调控真空腔室内的真空度，当测量单电子级的极弱电流时，降低真空度，通过低流强测量组件将信号引导并收集，对信号离子倍增探测；当电流增强至纳安级及以上时，则提高真空度切换至高流强测量组件进行直接电荷收集测量。该量子电流组合测量装置它将真空度作为关键控制变量，将低流强测量组件对弱信号的高灵敏度与高流强测量组件对强信号的高精度测量能力融合于一套系统中。