一种化学与电化学联用的碱性镀铜方法

本发明公开了一种化学与电化学联用的碱性镀铜方法。所述碱性镀铜方法包括：提供水系电解液，其包括铜盐、第一络合剂、镍盐和第二络合剂，第二络合剂为强镍离子络合剂；使水系电解液的pH值调整至7.5以上，并加入还原剂；使作为阴极的导电基底、对电极与水系电解液构建镀铜体系，进行间歇式通电，在导电基底表面沉积生成铜层。本发明将化学镀铜和电化学镀铜有机结合了起来，利用电化学还原快速产生反应活性位点，使得化学沉铜可以同步发生，具有更高的沉铜速率，高于单独的化学镀铜或者电化学镀铜。且所得铜层与基底的结合力好，不易发生铜层鼓包等状况。同时还省略了传统化学镀铜所需要的敏化、活化步骤，使得沉铜工艺变得更加简单。