基于压电陶瓷驱动的高精度腔光力微陀螺仪

本发明公开了基于压电陶瓷驱动的高精度腔光力微陀螺仪，包括固定柱、机械结构、光学结构、压电陶瓷和基座，固定柱位于机械结构的四角位置，光学结构位于机械结构的两端，压电陶瓷和基座位于机械结构的下部位置。所述光学结构包括腔光力系统和波导结构，腔光力系统和波导结构耦合，腔光力系统由一对光学微腔构成，其中光学微腔为二维光子晶体或回音壁模式微腔、法布里–珀罗光学微腔，一维纳米悬壁梁。所述机械结构包括质量块和支撑梁，其中质量块包括核心质量块、检测质量块和驱动质量块，核心质量块位于陀螺仪的中心部位，通过悬梁臂分别与驱动质量块和检测质量块相连接，支撑梁包括驱动支撑梁和检测支撑梁。