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激光自准直峰值对准角度测量方法与装置
王
王允机构 暂无
邱
邱丽荣机构 暂无
赵
赵维谦机构 暂无
摘要
本发明涉及精密光学检测技术领域,公开了一种激光自准直峰值对准角度测量方法与装置,装置包括:点光源、位于点光源出射方向的第一分光镜,依次沿第一分光镜反射方向设置的准直镜及被测棱体元件;回转工作台,承载被测棱体元件,回转工作台连接有测量其转角的角度测量模块;探测单元,包括依次设置于第一分光镜反射方向反方向的狭缝板和光电探测器,狭缝板具有狭缝;控制器,分别与点光源、回转工作台、角度测量模块及光电探测器连接,最终实现对被测棱体元件夹角的高分辨、高精度测量等。
暂无引用专利



