激光自准直差动对准角度测量方法与装置

本发明涉及精密光学检测技术领域，公开了一种激光自准直差动对准角度测量方法与装置。装置包括：点光源、位于点光源出射方向的第一分光镜，依次沿第一分光镜反射方向设置的准直镜及被测棱体元件；回转工作台承载被测棱体元件，回转工作台连接有测量其转角的角度测量模块；探测单元包括依次设置于第一分光镜反射方向反方向的狭缝板和光电探测器，光电探测器为对称分布的阵列式探测器或象限式探测器，狭缝板具有平行设置的第一狭缝和第二狭缝；控制器分别与点光源、回转工作台、角度测量模块及光电探测器连接，本发明提供实现了对被测棱体元件表面的高分辨对准，并抑制元件塔差对测量结果的影响，提高了被测棱体元件平面夹角的测量精度。