基于硅波导边界变形的紧凑型多模式循环器

本发明公开了一种基于硅波导边界变形的紧凑型多模式循环器，属于片上集成模分复用系统中的微纳光电子器件领域。本发明以在单一器件内实现高效多模式循环转换为核心，依托SOI平台与逆设计思路，在超小功能区尺寸内分别实现TE0/TE1双模式循环器及TE0/TE1/TE2三模式循环器，保证1550nm通信波段及1530‑1570nm宽波段内低转换损耗、高模式纯度，并具备±10nm几何偏差下的性能稳定性，且无需引入特殊材料，兼容传统CMOS工艺，为片上模分复用系统提供紧凑可靠的核心模式调控单元，推动高容量光通信与光子集成回路发展。