一种多工位化学气相沉积渗金属装置及使用方法

本发明涉及化学气相沉积设备技术领域，公开了一种多工位化学气相沉积渗金属装置，通过工装主体适配化学气相沉积设备高温反应器，多层托盘与扇形区的划分搭配多个装夹工位，既实现了装夹工位的最大化布局，满足大批量工程化生产需求，又能适配不同型号涡轮叶片，具备良好通用性。气体流量调节分配器与装夹工位的导气孔配合，可有效约束工艺气体均匀流通至各装夹工位，成功解决大容积高温反应器内工艺气体均分、精确配送的行业难题，保障各工位叶片铝化物渗层涂敷均匀。同时，适配设备的工装结构设计能适配高温、强腐蚀的工艺环境，减少长期使用中的变形，满足工艺对装置稳定性的要求，且各部件布局合理，助力实现快速高效装夹。