一种控制铝化物气流的供给装置及使用方法

本发明涉及化学气相沉积技术领域，公开了一种控制铝化物气流的供给装置及使用方法，定位片与固定支架的配合，便于装置快速装夹，适配大批量工程化生产需求。气流分配器可将工艺气体均分，其出气孔与涡轮叶片腔室精准对应，有效改善层流现象，实现工艺气体的精准供给与流向控制。集气盒对涡轮叶片全包裹且下方设有排气孔，使得工艺气体在集气盒中循环，能引导气体充分浸润叶片各表面及复杂盲腔部位，保障铝化物涂层共沉积的均匀性。整体结构设计适配CVA440 BL‑T 型CVD设备的工艺特点，在长期高温、强腐蚀环境下变形小，维持沉积过程的稳定性与一致性，有效解决了涡轮叶片复杂内腔及流道表面涂层沉积难题。