一种基于主动分区控温的蒸发系统及其控制方法

本申请公开了一种基于主动分区控温的蒸发系统及其控制方法，基于主动分区控温的蒸发系统包括蒸发舟、多路电源模块、温度传感模块及中央控制器。蒸发舟在电气上被划分为设置有高温电绝缘层的若干加热区；多路电源模块分别与各加热区电连接，用于独立提供加热功率；温度传感模块用于非接触式地测量各加热区的实时温度；中央控制器与传感模块和电源模块通信连接，用于获取预设目标温度，根据实时温度计算误差，并基于误差通过多路电源模块独立、动态地调整各加热区的加热功率，使实时温度趋近于目标温度。本申请通过分区、独立供电、实时传感和闭环反馈控制，实现了对蒸发舟各加热区的主动、实时、精确的温度控制，提高了镀膜工艺的稳定性。