一种扫描热显微镜微型热电偶探针的制备方法

本发明提供了一种扫描热显微镜微型热电偶探针的制备方法，属于纳米加工、纳米级温度和热导率测量技术领域，包括以下步骤：S101、热电偶丝预处理；S102、焊接微区形成热电偶结；S103、粗研磨修饰热电偶结；S104、PFIB精细研磨；S105、粘接。本发明采用上述的一种扫描热显微镜微型热电偶探针的制备方法，优化制备工艺参数和加工手段，能够稳定高效地制备出尖端具有纳米尺寸的热电偶探针。