自组装单分子层修饰表面疏水光学微腔器件及制备方法

本发明涉及有机化学及光学工程技术领域，公开了自组装单分子层修饰表面疏水光学微腔器件及制备方法，包括回音壁模式光学微腔，所述回音壁模式光学微腔的表面具有疏水的自组装单分子层，所述疏水的自组装单分子层通过氟代有机硅烷与微腔表面羟基的固液界面化学反应形成，所述氟代有机硅烷为F<Sub>5</Sub>PhSi(OMe)<Sub>3</Sub>、HF<Sub>9</Sub>Si(OMe)<Sub>3</Sub>、HF<Sub>13</Sub>Si(OMe)<Sub>3</Sub>、HF<Sub>17</Sub>Si(OMe)<Sub>3</Sub>、HF<Sub>21</Sub>Si(OMe)<Sub>3</Sub>中的一种或多种。本发明通过氟代有机硅烷溶液与二氧化硅回音壁模式光学微腔表面羟基之间的固液界面化学反应，在二氧化硅微腔表面形成疏水的自组装单分子层，有效抑制空气中水分子对二氧化硅微腔表面羟基的吸附，从而抑制二氧化硅回音壁模式光学微腔的表面光学损耗。