一种多舱式真空镀膜生产线

本发明公开了一种多舱式真空镀膜生产线，其包括进片舱、前处理舱、镀膜工艺舱、后处理舱和出片舱，各个舱内部相连通形成一条运输通道，各个舱内部设有工件运输机构，生产线至少在进片舱和出片舱设有插板阀；镀膜工艺舱设有中部运输腔室、上镀膜腔室和顶升旋转机构，上镀膜腔室内设有镀膜装置；顶升旋转机构能将夹具组件上的密封罩顶起，通过密封罩密封盖在上镀膜腔室与中部运输腔室之间的连通口处，实现上镀膜腔室的独立密封，同时顶升旋转机构能将夹具组件上装夹工件的工件夹具顶升至上镀膜腔室内，同时顶升旋转机构能带动已经被顶升至上镀膜腔室内的工件夹具旋转。本发明采用单片工件镀膜方式，即保证的均匀镀膜，同时还尽量保证了生产效率。