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磁传感器及其制造方法
摘要
本申请涉及一种磁传感器及其制造方法。该磁传感器包括:磁感应元件以及设置于所述磁感应元件至少一侧的磁通集中器;所述磁通集中器包括依序叠置的多层子集中器;其中,所述子集中器与所述磁感应元件之间的距离与所述子集中器的材料的磁导率呈正相关,所述子集中器与所述磁感应元件之间的距离与所述子集中器的材料的饱和磁化强度呈负相关。该磁传感器通过设置多层不同材料的子集中器并根据各层子集中器与磁感应元件之间的距离设置各层子集中器各自材料的磁导率和饱和磁化强度,提升磁传感器的测量灵敏度和准确度。
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