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一种柔性薄膜制备方法及柔性薄膜

郑雅文、吴宇俊、邓翔文、马志钦、朱梦梦、鄂盛龙、郑武略、杨豪、林均怡、叶震亮、邓思源、刘方震、李彩云
中国南方电网有限责任公司

摘要

本申请涉及一种柔性薄膜制备方法及柔性薄膜。所述方法包括:提供一单晶衬底;在单晶衬底上外延生长一水溶性牺牲层;在水溶性牺牲层上外延生长单晶钴酸镍薄膜;将生长有单晶钴酸镍薄膜的样品浸入目标溶剂中,使水溶性牺牲层溶解后,单晶钴酸镍薄膜从单晶衬底上剥离,得到自支撑的单晶钴酸镍薄膜;将自支撑的单晶钴酸镍薄膜转移至目标柔性衬底上。采用本方法能够实现无损转移得到柔性薄膜。

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