红外近零功率微纳开关及设计方法

本发明涉及红外光学调控与微机电系统技术领域，公开了一种红外近零功率微纳开关及设计方法。红外近零功率微纳开关，包括对称双悬臂结构、超表面吸收头和梯形触点，对称双悬臂结构包括两个呈对称布设的双材料梁，双材料梁上均设有超表面吸收头和梯形触点，两个双材料梁上梯形触点呈相对地布设，梯形触点的表面形状呈梯形；超表面吸收头用于有效地吸收红外能量而导致局部温升，进而引发双材料梁形变，并驱动两个双材料梁的梯形触点接触，从而实现导通。结构简单、功耗近零，适用于红外响应系统中体积小、低功低和稳定性高的需求。