基于双纳米梁耦合腔光力结构的奇异点加速度计

本发明公开了基于双纳米梁耦合腔光力结构的奇异点加速度计，包括固定块、机械振子和波导，固定块固定于芯片基底并保持静止。波导与机械振子侧向耦合，用于传输光信号。固定块和机械振子在彼此相对的一侧各设有一段完全相同的硅纳米梁腔，硅纳米梁腔包括第一硅纳米梁腔和第二硅纳米梁腔，用于形成高品质因子光学微腔并将光场束缚于亚波长模体积内。机械振子还包括一个大质量块，位于机械振子中部，用于在加速度作用下产生惯性力。大质量块上设有悬臂梁和腐蚀孔，四根悬臂梁分别自大质量块的四个角部延申至周边锚点。腐蚀孔贯通分布于大质量块内，用于在刻蚀过程中释放牺牲层，以实现大质量块的完全悬空与可动。