一种栅控超导纳米线低温温度计及其制备方法

本发明公开了一种栅控超导纳米线低温温度计及其制备方法，涉及超导电子学与低温探测技术领域；包括衬底和超导层，所述超导层包括栅极、超导纳米线和电感；所述栅极与超导纳米线垂直并具有间距，用于电场调控；所述超导纳米线与电感连接，用于对栅极注入的粒子产生响应并输出脉冲信号；所述电感与超导纳米线连接，用于抑制在高偏置电流下的闩锁效应；所述超导层材料为具有所超过测量温区的超导转变温度T<Sub>c</Sub>的超导薄膜材料；本发明通过栅极电场调控超导纳米线临界电流过程中的（准）粒子注入，结合脉冲计数率与温度的非线性响应，实现低温温度的高精度测量，具有宽温区测量、噪声低、灵敏度高、低功耗、自热小、测量系统简单以及成本低的优点。