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一种蓝宝石-陶瓷真空灭弧室视窗及其钎焊方法
摘要
本发明公开了一种蓝宝石‑陶瓷真空灭弧室视窗的钎焊方法及其应用,包括,在蓝宝石钎焊面依次沉积活化层、阻挡层、钎焊层,在陶瓷外壳开孔环状区域用钼锰法烧结并化学镀镍层;将无氧铜、可伐合金、镍三层金属箔片复合成一体,得到环状的复合过渡环的无氧铜一侧与蓝宝石钎焊层对准放置、中间放置铜钎料环,复合过渡环的镍一侧与陶瓷外壳开孔处镀镍层对准放置、中间放置铜钎料环,得到的组件真空钎焊,一次性形成两个高强度、高气密的钎焊接头,从而将蓝宝石视窗通过复合过渡环密封连接到陶瓷外壳上。通过引入一种多层复合过渡层结构,有效解决热应力匹配难题,从而实现兼具超高气密性、高机械强度和优异长期可靠性的封接界面。
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