一种集成腔光机械结构磁场传感器

本发明公开了一种集成腔光机械结构磁场传感器，包括安装在PCB板上的分布反馈激光器、第一片上硅波导结构、光子晶体微腔、机械敏感结构、第二片上硅波导结构、片上锗光电探测器、信号调理电路和直流电源，分布反馈激光器通过第一片上硅波导结构与机械敏感结构相连，机械敏感结构与光子晶体微腔相连，光子晶体微腔通过第二片上硅波导结构连接到片上锗光电探测器的端部，片上锗光电探测器的另一端与信号调理电路相连，信号调理电路与直流电源相连。所述片上锗光电探测器设置于输出波导末端，所述信号调理电路与片上锗光电探测器连接，所述直流电源通过金线键合方式连接至所述金属焊盘，用于提供恒定驱动电流，形成可控的洛伦兹力场。