一种基于腔光机械结构的集成梯度磁场传感器

本发明公开了一种基于腔光机械结构的集成梯度磁场传感器，包括集成于同一基板上的腔光机械传感单元阵列、光学波导结构、多通道光功率均分器和光电探测器阵列，腔光机械传感单元阵列包括光子晶体微腔与机械敏感结构，机械敏感结构包括悬臂梁和质量块，悬臂梁表面设有金属导线，金属导线的端部连接有金属焊盘，并形成电流回路，金属导线上套设有支撑块，在外部磁场作用下，金属导线受洛伦兹力驱动质量块产生机械位移，位移经光机械强耦合调制输出光强变化。多通道光功率均分器用于将光信号均匀分配至多个波导‑磁场传感单元。波导‑磁场传感器集成单元用于同步测量空间分布的磁场强度，并通过采集各单元的输出信号生成梯度磁场分布图。