一种基于PMMA聚合物薄膜的可调控甲苯QCM气敏传感器及其制备方法与应用

本发明公开了一种基于PMMA聚合物薄膜的可调控甲苯QCM气敏传感器及其制备方法与应用。将硅片旋涂聚甲基丙烯酸甲酯PMMA并加热固化；将硅片放入电感耦合等离子体刻蚀腔中，使用Ar或CF<Sub>4</Sub>处理交联表层PMMA；旋涂聚乙烯醇PVA并加热固化；硅片放入丙酮中溶解底部PMMA；硅片、QCM浸入异丙醇，反转漂浮的薄膜并转移至QCM上；置于加热台上烘干QCM，得到载有VOCs气敏膜的QCM片；将得到的QCM片置于检测电路上。本发明首次实现制备了厚度为10nm以内的甲苯气敏薄膜，其甲苯QCM传感器响应时间为低至3s，检测限达到492ppb，属于一种超薄、超快响应的甲苯QCM传感器，对实际生产中快速检测极低浓度甲苯具有重要意义。