有效

一种基于涡旋光束的飞秒激光矢量加工方法及系统

谢林圯、李玉海、袁晓东、郑天然、孙来喜、王方
中国工程物理研究院激光聚变研究中心

摘要

本发明公开了一种基于涡旋光束的飞秒激光矢量加工方法及系统,涉及飞秒激光加工技术领域,包括:S1、偏振分光棱镜将入射的飞秒激光脉冲光束分成P光和S光,完成初步的偏振态调控;S2、通过对半波片和四分之一波片的角度控制,对偏振态调控后的飞秒激光进行动态调控;S3、通过涡旋波片对动态调控后的飞秒激光进行脉冲调制、耦合,以将飞秒激光转换为具有预定拓扑荷数和偏振态的涡旋光束;S4、基于预设的加工路径对待加工件的位置进行调节,完成涡旋光束在工件表面的矢量扫描加工。本发明充分利用涡旋光束具有中空环形能量分布,以降低光束中心区域的能量大小,优化光束在截面的能量分布,更有利于材料加工。