在审
真空灭弧室真空度监测系统和方法
摘要
本申请涉及一种真空灭弧室真空度监测系统和方法,涉及监测技术领域。系统包括:真空灭弧室和激光检测装置;真空灭弧室包括氧化铝陶瓷外壳和蓝宝石透光片;氧化铝陶瓷外壳上包括贯穿氧化铝陶瓷外壳的通孔,蓝宝石透光片焊接在通孔内;激光检测装置通过蓝宝石透光片向真空灭弧室内部发射检测激光后,收取检测激光对应的辐射激光,基于辐射激光确定真空灭弧室的真空度。该系统能够提高真空灭弧室真空度的检测效率和检测精度。
暂无引用专利
本申请涉及一种真空灭弧室真空度监测系统和方法,涉及监测技术领域。系统包括:真空灭弧室和激光检测装置;真空灭弧室包括氧化铝陶瓷外壳和蓝宝石透光片;氧化铝陶瓷外壳上包括贯穿氧化铝陶瓷外壳的通孔,蓝宝石透光片焊接在通孔内;激光检测装置通过蓝宝石透光片向真空灭弧室内部发射检测激光后,收取检测激光对应的辐射激光,基于辐射激光确定真空灭弧室的真空度。该系统能够提高真空灭弧室真空度的检测效率和检测精度。