一种基于激光诱导击穿光谱的真空度检测方法、系统、设备及存储介质

本发明涉及激光光谱检测技术领域，特别是一种基于激光诱导击穿光谱的真空度检测方法、系统、设备及存储介质。通过创新性地引入权重系数α对激光能量特征进行差异化处理，突破传统LIBS真空度检测中将激光能量作为普通特征同等对待的技术局限。通过自动寻峰算法结合Savitzky‑Golay滤波预处理实现光谱特征的自动化精准提取，构建包含光谱特征、激光能量值及真空度标签的多维数据矩阵实现多源信息的有机融合。采用分区自适应权重调整机制针对不同真空度区间制定差异化补偿策略通过网格搜索算法同步优化权重系数α、惩罚因子C及核宽γ实现模型参数的全局最优配置。最终构建加权SVR模型在不改变硬件架构前提下，实现10～<Sup>3</Sup>Pa‑10<Sup>4</Sup>Pa全量程范围内相比传统方法平均精度提升25％以上。