在审

基于流化床化学气相沉积的包覆反应器及颗粒包覆方法

刘马林、张容祎、田宇、钱唯君
清华大学
刘马林机构 暂无
技术领域 暂无
张容祎机构 暂无
技术领域 暂无
田宇机构 暂无
技术领域 暂无
钱唯君机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明涉及颗粒包覆技术领域,具体涉及一种基于流化床化学气相沉积的包覆反应器及颗粒包覆方法。包覆反应器包括物料筒、罩筒、排气段、中路进气组件和周向进气组件,物料筒周壁设置有加热器;罩筒罩于物料筒外,朝上超出物料筒,罩筒和物料筒之间形成返料腔,返料腔的下端部连通物料筒;排气段连通罩筒的上端;中路进气组件被配置为向物料筒内供应流向朝上的携带有前驱体的气体;周向进气组件被配置为沿返料腔的周向向返料腔供应流向朝上的流化气体,携带有前驱体的气体的流速大于流化气体的流速。本发明能够实现气体裂解过程和冷却成膜过程在空间和时间上的解耦,可以降低流化床‑化学气相沉积过程的复杂性,也便于进行定量化实验研究。

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