基于粒子群算法优化增透膜的衍射元件加工误差补偿方法

基于粒子群算法优化增透膜的衍射元件加工误差补偿方法，属于粒子群算法技术领域，为了解决现有技术加工过程中依赖于精密的测量设备造成误差补偿效率低的问题，该方法包括：步骤一，以ABIADE最大化为原则，确定DOE微结构高度的理论值H<Sub>0</Sub>；步骤二，计算相对微结构高度误差下的加工后实际微结构高度H<Sub>a</Sub>和衍射效率η<Sub>m</Sub>；步骤三，根据衍射元件基底材料选择镀膜材料，确定镀膜材料的折射率并给出初始膜厚l<Sub>i</Sub>，计算在加工后微结构高度H<Sub>a</Sub>的基础上镀膜后的衍射效率η<Sub>m</Sub>'；步骤四，建立E‑ABIADE数学模型，计算加工后和加工后镀膜的E‑ABIADE值，分别记为<Image he="95" wi="240" file="DDA0005424403920000011.GIF" imgContent="drawing" imgFormat="GIF" orientation="portrait" inline="yes"/>步骤五，利用粒子群算法优化增透膜的膜厚l<Sub>i</Sub>并输出。该方法误差补偿效率高。