1.一种表征加速器超导腔薄膜厚度的方法，其特征在于，包括以下步骤：激光脉冲聚焦于待检超导腔薄膜的表面，对待检超导腔薄膜进行激光脉冲烧蚀，所述待检超导腔薄膜的表面形成激发微区；对所述激发微区进行多次激光脉冲的单点烧蚀，记录每一次激光脉冲对应的LIBS光谱；对于每一个记录的LIBS光谱，选取示踪元素，并根据示踪元素的指纹谱线，提取待检特征信息；对每一次激光脉冲对应的烧蚀深度进行测量；建立待检特征信息与烧蚀深度的对应关系；分析待检特征信息与烧蚀深度之间的对应关系，建立厚度预测模型，厚度预测模型所预测的结果用来表征待检超导腔薄膜的厚度；所述厚度预测模型的建立包括以下步骤：对每一个指纹谱线的待检特征信息进行强度归一化，获得归一化值I；建立归一化值I与烧蚀深度的对应关系，分析归一化值I随烧蚀深度之间的变化关系以量化待检超导腔薄膜的厚度。
2.根据权利要求1所述的表征加速器超导腔薄膜厚度的方法，其特征在于，所述LIBS光谱选取单个示踪元素时，提取示踪元素的指纹谱线，指纹谱线的待检特征信息为谱线强度或等离子体参数。
3.根据权利要求1所述的表征加速器超导腔薄膜厚度的方法，其特征在于，所述LIBS光谱选取不同的示踪元素时，提取示踪元素的指纹谱线，指纹谱线的待检特征信息为谱线强度、强度比或等离子体参数。
4.根据权利要求1所述的表征加速器超导腔薄膜厚度的方法，其特征在于，包括以下步骤：建立待检特征信息与激光脉冲数的对应关系；建立烧蚀深度与激光脉冲数的对应关系，所述待检特征信息经所述激光脉冲数与所述烧蚀深度之间建立对应关系。
5.根据权利要求1所述的表征加速器超导腔薄膜厚度的方法，其特征在于，所述待检超导腔薄膜包括超导腔薄膜层和超导腔基底层，归一化值I于薄膜层和基底层的交界处发生突变，归一化值I发生突变的位置所对应的烧蚀深度值为超导腔薄膜的厚度。
6.根据权利要求1所述的表征加速器超导腔薄膜厚度的方法，其特征在于，所述厚度预测模型的建立包括以下步骤：选择标准超导腔薄膜样品，获得示踪元素的标准特征信息；待检超导腔薄膜包括超导腔薄膜层和超导腔基底层，其中，提取待检特征信息时，根据每一个记录的LIBS光谱，分别选取基底示踪元素和薄膜示踪元素，根据基底示踪元素的指纹谱线，提取基底特征信息，根据薄膜示踪元素的指纹谱线，提取薄膜特征信息；通过皮尔逊系数法计算基底特征信息和标准特征信息之间的相关系数并记为r 1 ，以及薄膜特征信息和标准特征信息之间的相关系数并记为r 2 ；建立相关系数r 1 和烧蚀深度之间的对应关系，以及r 2 和烧蚀深度之间的对应关系，r 1 和r 2 产生交点的位置对应的烧蚀深度值为待检超导腔薄膜的厚度。
7.根据权利要求6所述的表征加速器超导腔薄膜厚度的方法，其特征在于，所述标准超导腔薄膜样品进行激光脉冲烧蚀，获得标准LIBS光谱，根据标准LIBS光谱选取示踪元素，并根据示踪元素的指纹谱线，提取标准特征信息。
8.根据权利要求1所述的表征加速器超导腔薄膜厚度的方法，其特征在于，所述激光脉冲聚焦所述待检超导腔薄膜时，所述激光脉冲根据不同激光通量下，LIBS光谱信号的光谱特征参数随脉冲次数的变化，需确定激光脉冲的最佳激光通量区间。
9.根据权利要求8所述的表征加速器超导腔薄膜厚度的方法，其特征在于，所述LIBS光谱信号的光谱特征参数为示踪元素的谱线强度、强度比、信背比、信噪比、谱线展宽中的任一种。
