一种基于飞秒激光时空频整形的超高真空加工系统

本发明提供一种基于飞秒激光时空频整形的超高真空加工系统，涉及飞秒激光整形技术领域，本发明提出了一种基于飞秒激光时空频整形的超高真空加工系统，通过依次设置预整形单元、空域整形单元、时域整形单元和原位观测单元，实现对飞秒激光的精确整形，预整形单元减弱光束强度并限定光束直径和位置，形成校准光束；空域整形单元通过空间光调制器调节光束的相位和振幅，形成空域整形光束；时域整形单元通过时域分束镜分束，并利用时域反射镜调节光程实现脉冲延时，形成时域整形光束，最终，在原位观测单元中，实现高精度的光束汇聚和样品加工，通过这种系统化的时空频整形方法，本方案能够有效提高飞秒激光的光束质量和加工精度。