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一种激光器冷却系统

邱胜蓝、李琦、李儒、陈军羊、刘东
四川思创激光科技有限公司

摘要

本发明属于激光器冷却技术领域,公开了一种激光器冷却系统,包括制冷剂回路、控制组件和检测器件,所述制冷剂回路包括依次连接的压缩机、冷凝器和冷却流路,所述冷却流路设有若干个,若干个所述冷却流路并联在制冷剂回路上,所述冷却流路上设有阀器件一和用于设置热源的冷板,所述冷板的制冷剂输出端设有检测器件和调压器件,所述检测器件用于检测制冷剂压力和/或温度;还包括若干个分别连接一冷却流路的调节流路。本发明通过在制冷剂回路中并联多个低功率的冷却流路,可实现更高功率的散热,由于采用并联的方式,可以控制各并联回路,实现分区温控,同时可实现单个流路模块的独立控温和更为精准的制冷调节。

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