光学测距传感器及激光加工设备

本发明涉及一种光学测距传感器及激光加工设备；传感器包括测距激光器、偏振分光棱镜、波片、聚焦物镜、偏振镜组件、单轴晶体及光学照相单元，偏振分光棱镜设于测距激光器的出射光路上，波片和聚焦物镜依次间隔设于偏振分光棱镜的反射光路上，偏振镜组件、单轴晶体和光学照相单元依次设于偏振分光棱镜的透射光路上，经加工件后的反射光束依次经聚焦物镜、波片、偏振分光棱镜后至透射光路。本发明可与激光加工设备共用同一个聚焦物镜，以适配激光加工设备的加工范围；在入射光路中加入凸透镜来提高分辨力，测量精度可达微米级；有独立光源，可将从加工件表面反向反射回来的测量信号光与激光加工光束分离，可在激光加工过程中实现实时测量。